重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
发布时间：2024-12-27 15:51:39 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论快科技10月25日消息，据华中科技大学官微消息，近日，该校武汉光电国家研究中心团队，在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍，其研发的T150A光刻胶系列产
。
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
相关文章
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！近日，一组奔驰S级中期改款的谍照在网络上曝光，引发了2024-12-27
现金储备第一！小米汽车卖一辆亏3万 亏损锐减50%：最快明年初盈利
快科技11月19日消息，小米已经公布了第三季度的财报，其总收入已经逼近千亿元，表现相当的优秀。小米集团发布了2024年第三季度财报：总收入达到925亿元，同比增长30.5%；净利润为53亿元，而上年同2024-12-27
网易宣布成立养鸡场，10万河田飞鸡送给《终结者2》玩家。伴随着吃鸡游戏的持续火爆，“大吉大利，今晚吃鸡”这句话从17年末一直流行到了18年初。显然，在吃鸡手游领域，网易正走在前2024-12-27
1月10日消息，昨日晚间有媒体报道称，蚂蚁金服主动关闭了部分用户的蚂蚁借呗功能，称因高杠杆触及监管红线。蚂蚁金服官方回应，作为一款消费信贷产品，蚂蚁借呗会基于用户的使用情况和信用行为，对用户的资格和额2024-12-27
快科技11月18日消息，今天，华为Mate 70系列在华为商城上架接受预约，共有Mate 70、Mate 70 Pro和Mate 70 Pro+三款机型。其中Mate 70标准版提供曜石黑、雪域白、云2024-12-27
根据《关于上海证券交易所2019年全年休市安排的通知》上证公告〔2018〕39号），上海证券交易所现将2019年春节休市有关安排通知如下。一、休市安排：2月4日星期一）至2月10日2024-12-27
最新评论